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真空系統中被抽的有什么氣體

  在真空系統的應用中,提取的氣體不僅包括應用過程中產生的各種氣體,而且還包括系統中的原始大氣。整體內容是什么?今天,小編會給你理一理。

  1.真空系統過程中產生氣體

  它包括過程中從材料中逸出的氣體以及過程中引入的氣體,并且還包括真空系統中的液態或固態氣化氣體。對于不同的過程和要處理的不同材料,此氣體量的計算是不同的。

  2.真空系統中最初存在氣體

  在真空系統中,真空容器腔室,真空管道等最初包含一定量的大氣氣體成分。在泵送的初始階段,它們是真空系統的主要氣體負載,最早也被系統帶走。

  3.真空系統中泄漏氣體

  泄漏氣體包括通過真空密封連接和各種泄漏路徑泄漏到真空系統中的氣體。對于給定的真空系統,泄漏的氣體量是恒定的。不同的真空系統應用,不同的極限壓力以及對氣體泄漏量的嚴格限制。

  4.真空系統中各種材料表面上釋放的氣體的解吸

  在常壓下,真空系統中材料的表面會吸附并溶解一些氣體。在負壓下,這部分氣體將再次釋放。它的滲出流與材料特性,加工和材料的表面狀態有關。

  5.真空系統外部的氣氛通過壁材料滲透系統中的氣體

  氣體也溶解并滲透到固體中。因此,大氣通過容器壁結構的材料將一部分氣體滲透到真空系統中。在普通的金屬系統中,這種滲透可以忽略不計,但是在玻璃真空系統或薄壁金屬系統中的某些應用將需要考慮滲透氣體的影響。

  以上五個方面構成了真空系統的總泵送負荷。

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