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平板顯示器中螺桿真空泵的使用

  隨著在屏幕閱讀的幻想未來,顯示面板行業的高速發展。面板的制造過程非常復雜。從玻璃基板到成品至少需要300道工序。整個過程需要在無塵的環境和精確的技術過程中進行。因此,在面板生產過程中,高度可靠的真空供應尤為重要。平板顯示器廠家現在使用干螺桿真空泵技術為其高負荷L/L,CVD,PVD,刻蝕,溶劑蒸發工藝提供真空。本文旨在介紹下螺桿真空泵在平板顯示器中的應用。

  平板顯示器(FPD)的制造過程需要真空和減排設備,這些設備可以支撐大型處理室并以最大的可靠性提供高氣體流量。需要真空設備來泵送有毒,自燃性和腐蝕性氣體,并處理在處理室中形成的大量固體處理副產物。

  為什么選擇平板顯示器的螺桿真空泵?

  選擇干式螺桿真空泵的原因實際上與其產品特性有關。它具有以下三個優點:

  1、高可靠性

  干式螺桿真空泵由于其成熟的雙螺桿設計和智能的溫度管理而特別高效。這些真空泵即使在最嚴苛的應用中也能提供高可靠性和長使用壽命。

  2、配備節能模式功能,可以節省大量能源

  干式螺桿真空泵配備有節能電機和世界先進的節能模式功能。控制系統可根據需求自動調整為節能模式,并在需要時恢復至最大抽氣模式,從而節省了大量能源。

  3、最小化維護和運營成本

  它的一小部分部件(包括轉子)都是一件式的。得益于其模塊化設計以及獨立的羅茨泵螺桿泵機架,它易于安裝和維護,大大降低了大修成本。由于優化的空間設計和節能潛力,真空泵的運行成本較低。

  由多個干式螺桿真空泵與羅茨泵組成的真空系統是平板顯示器應用的最佳解決方案,例如快速排空以進入腔室,排空過渡腔室和薄膜沉積腔室。在相同類型的泵中,它們提供最快的泵送時間和最快的泵送速度。通過標準化設計,真空使系統提供了極大的用戶友好性。用戶還可以受益于標準化的接口,例如電氣連接,吹掃氣體和冷卻水,方便的設備維護以及優化的泵管理。

  以上是螺桿真空泵在平板顯示器中的應用,如果您想了解更多,可以聯系我們公司。根據CVD,PVD,刻蝕,PR涂層,盒成型,OLED蒸發,包裝,離子注入等不同的工藝要求,我們可以為客戶定制專業的真空解決方案。

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