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真空機組中泵抽速的配合

一般的高真空系統均須采用真空機組以獲得足夠高的真空。最簡單的真空機組為多級擴散泵或渦輪分子泵(作為主泵)與機械泵(作為前置泵)等串聯。在多泵串聯使用時,不但極限真空要有一定的要求,抽速之間也應有合理的配合,以充分發揮各泵的效能。各泵之間的關系,可根據穩定流動下,流量恒定關系來確定。?

設S1為主泵的抽速,S2為前置泵的抽速,p1為工作時主泵的進口壓強,P2為前置泵的進口壓強。則主泵的抽除量為p1S1,前置泵的抽除量為P2S2。穩定流動時,兩者相等,故有:p1S1=p2S2?

則得:?

即前置泵的抽速應等于主泵抽速乘以兩泵的工作壓強比值p1/p2。因為有p1,p2,故有S2,S1,即前置泵抽速比主泵抽速小。例如,設機組工作時擴散泵的壓強為機械泵的10-3倍,即p1/p2=10-3,此時理論上機械泵抽速僅為擴散泵抽速的千分之一即可。實際選用機械泵時抽速應比理論值大3~5倍,以留有充分的余地;同時可縮短系統達到擴散泵啟動壓強所需的時間。

現在很多的公司,因為需要滿足生產需要去選擇購買真空機組.但是需要注意的是,在購買的過程中一定要聽一下專業人員的建議,選擇合適的自己的真空機組.

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