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真空系統選用哪種真空泵?

真空系統用何種真空泵,首先應根據系統的要求,其次應對該泵性能特點有詳細了解,比較了各種泵的優缺點后,再決定之,?這樣才能選用得適當。為便于選擇所要使用的真空泵,現將我國生產的各種類型真空泵總的情況歸納總結一下,簡略比較它們的特性和優缺點,看來是必要的。 一、油封機械泵 現生產的2X型旋片泵均為雙級,抽速為0.5~150升/秒,有全系列的產品。 滑閥泵分單級(H型)、雙級(2H型)。?抽速:H型為8?~?600升/秒;2H型為8~?70升/秒。亦有成系列生產的產品。 余擺線式泵抽速可很大,體積小,目前正在試生產。 這類泵均用作獲得低真空,或作高真空泵的前級泵和預抽泵。帶有氣鎮裝置的可抽除潮濕空i。但極限真空比抽干燥空氣(不用鎮時)低-個數量級。泵的抽速系指進口壓強在760托時之抽速,當系統壓強下降時抽速亦下降,直至接近該泵的極限真空,抽速亦接近于零。其抽降系數有一定規定。 二、機械增壓泵(羅茨泵) 工作壓強范圍10~5x10-4托,常用范圍2~5x10-3托,抽速范圍150~?2000升/秒,我國已有成系列產品。這種泵最大抽速在2托~10-2托之間,需要前級泵,不能直接向大氣排氣。極限真空隨前級泵變化。與油增壓泵相比,工作壓強范圍較寬,最大排氣壓強較高(機械增壓泵10~30托,油增壓泵1?~?2托)?,返流油蒸氣很少,用它抽除含有水蒸等可凝性氣體時較合適。 三、油增壓泵 工作壓強范圍1?~1x10-4托,常用范圍在0.1~?1x10-2托,抽速范圍200~40000升/秒,彌補了機械泵、擴散泵在此壓強范圍內抽速小的缺陷。對惰性氣體與其他氣體有相同的抽速。 四、油擴散泵 普通油擴散泵的工作壓強范圍10-2~5x10-7托,常用范圍10-8~?5x10-6托,抽速范圍20~?100000升/秒,金屬,玻璃結構的擴散泵均成系列生產。超高真空油擴散泵極限壓強約為10-10托,除結構與普通油擴散泵略有一點差異外?,主要是工作液不同,結構材料不同,即用275硅油等作泵液,結構材料用不銹鋼。新設計的超高真空泵差異就較大了。

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